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                产品展示

                PRODUCTS

                服务中心

                销售热线: 0371-6320 2801
                0371-6320 2805
                售后服务: 0371-6320 2905
                值班经理:
                蔡永国: 181 0371 5723
                徐晓冬: 188 3821 1523
                Email : nbd@nbdkj.com
                    PECVD等离子体系统 当前位置:网站首页 > 产品展示

                双炉膛滑轨式PECVD

                发布时间:2020-07-25  浏览次数:409

                 

                设备简介:

                双温区的PECVD管ω 式炉系统,组成部分为500W的射频发生器、可定位的独立滑动式烧结炉ぷ、高精度质量流量混合系统、稳定防反油真】空系统。此款PECVD可用于生长纳米线或用CVD方法来制◤作各种薄膜。

                 

                 

                 


                 

                 

                配置详情

                 

                1. 清洗镀膜一气呵成,杜绝█二次污染;

                2. 上开启◣式结构,方便观察试样;

                3. 产品采用全自动控制方式ㄨ,触摸屏,数字化显示;

                4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果;

                5. 稳定的射频电源,均匀的温度分布,提高¤成膜质量;

                产品型号

                NBD-PECVD1200-50IIT

                电气规格

                AC220V 3KW   射频功率:300或500瓦 13.56Mhz

                可达温度

                1200 ℃ (<1小时)

                连续温度

                1100 ℃ (连续)

                可达加热@速率

                ≤  20 ℃/分钟

                加热区长度

                200mm+200mm(两个加热温区分别加热,分体式设计使温度梯度可以达▓到极限)

                炉管尺寸

                Φ50*1800mm

                射频线圈

                 

                采用多节点镀银的水冷铜线圈,可匹配不同频率的射频电源

                控制系统

                 

                1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦;

                2.实验过程更加直观,操作更加便捷;

                3.可另选配无线控制模块,实现远程操控;

                4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等。

                温度精度

                +/- 1 ℃

                加热元件

                 

                Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

                密封系统

                 

                 

                真空度:≤10Pa(机械泵),达到启辉条件。

                压♂力测量与监控

                 

                采用数显真空计可直观显示设备的真空度,实验数据及效果更』加准确。

                供气系统

                 

                采用质量流量计控制,与设备一体化,方便控制,出厂前已进行漏气测试工作

                净重

                100KG

                设备使用注意事项

                1. 设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

                2. 设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大冲开密封法兰;

                3. 高真空下使用时(10的负3次方Pa),设备使用温度不得超过800℃。

                服务支持

                1年有ξ 限保修,提供终身卐支持(保修范围◇内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等)

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