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                射频独立系统

                发布时间:2020-04-11  浏览次数:865



                 

                 

                 


                     

                           

                  该射频电源匹配器小巧、轻便,拥有空冷式设计。高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品使用寿命均得以提升,从而使您的投资和制程生产力得到有效的利用。一个直观、快捷的操作菜单(可在该组件的多功能前面板上切ζ 换,并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上)带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本很低。此款设备配置13.56MHz的射频输出,可匹配普通型管式炉做等离子体增强型化学气象沉积(PECVD)使用,是实验〓室做PECVD镀膜的理想选择。

                基本参数

                名称

                功率范围

                工作频率

                功率稳卐定度

                反射功率

                保护设置

                冷却方式

                等离子体发生器

                0-500W连续可调

                13.56MHz

                ≤2W

                70W

                DC过流保护,功放过↑温保护,反射功率保护

                强制风冷

                * 此设备可与管式炉进行匹配定制


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